Волновая пластина фоторезиста нулевого порядка состоит из двух кусков кварцевого фоторезиста с ортогональными оптическими осями. Разница в толщине двух кусков кварца может привести к фазовой задержке нулевого порядка. Волновые пластины нулевого порядка нечувствительны к температуре и длине волны.